為研究表面粗糙度對零件性能的影響和度量表面微觀不平度的需要，從20年代末到30年代，歐美等國等設計制作了輪廓記錄儀、輪廓儀，給從數值上定量評定表面粗糙度創造了條件。

　　30年代起，已對表面粗糙度定量評定參數進行了研究，美國人提出了用距表面輪廓峰頂的深度和支承長度率曲線來表征表面粗糙度。1936年出版了表面粗糙度的專著，對表面粗糙度的評定參數和數值的標準化提出了建議。

　　但粗糙度評定參數及其數值的使用，真正成為一個被廣泛接受的標準還是從40年代各國相應的標準發布以后開始的，這樣的儀器設備就叫粗糙度儀，由于以前叫表面光潔度所以表面粗糙度儀人們又習慣的成為表面光潔度儀。

　　粗糙度儀Ra、Rz是指什么？ 粗糙度Ra，輪廓的平均算術偏差:通過零件的表面輪廓作一中線m，將一定長度的輪廓分成兩部分，使中線兩側輪廓線與中線之間所包含的面積相等；

　　粗糙度Ra，輪廓的平均算術偏差:通過零件的表面輪廓作一中線m，將一定長度的輪廓分成兩部分，使中線兩側輪廓線與中線之間所包含的面積相等；在取樣長度內，被測實際輪廓上各點至輪廓中線距離jue對值的平均值，Ra能充分反映表面微觀幾何形狀高度方面的特性，但因受計量器具功能的限制，不用作過于粗糙或太光滑的表面的評定參數。

　　粗糙度Rz，不平度平均高度:就是在基本測量長度范圍內，從平行于中線的任意線起，自被測輪廓上五個zui高點至五個zui低點的平均距離；在取樣長度內5個zui大的輪廓峰高平均值與5個zui大輪廓谷深平均值之和.Rz只能反映輪廓的峰高，不能反映峰頂的尖銳或平鈍的幾何特性，同時若取點不同，則所得Rz值不同，因此受測量者的主觀影響較大。主要用戶窄小表面。